WWW.DISS.SELUK.RU

БЕСПЛАТНАЯ ЭЛЕКТРОННАЯ БИБЛИОТЕКА
(Авторефераты, диссертации, методички, учебные программы, монографии)

 

Поиск и изучение перспективных кремнийорганических молекул для селективной по изотопам кремния инфракрасной многофотонной диссоциации

На правах рукописи

Кошляков Павел Васильевич

ПОИСК И ИЗУЧЕНИЕ ПЕРСПЕКТИВНЫХ КРЕМНИЙОРГАНИЧЕСКИХ

МОЛЕКУЛ ДЛЯ СЕЛЕКТИВНОЙ ПО ИЗОТОПАМ КРЕМНИЯ

ИНФРАКРАСНОЙ МНОГОФОТОННОЙ ДИССОЦИАЦИИ

01.04.17 – химическая физика, горение и взрыв, физика экстремальных

состояний вещества

АВТОРЕФЕРАТ

диссертация на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук

НОВОСИБИРСК – 2010

Работа выполнена в Институте химической кинетики и горения Сибирского отделения Российской академии наук

Научный руководитель: доктор химических наук, Чесноков Евгений Николаевич

Официальные оппоненты: доктор физико-математических наук, Рубцова Наталья Николаевна кандидат физико-математических наук, Стрекалов Михаил Леонидович

Ведущая организация: Институт спектроскопии Российской академии наук

Защита состоится 16 июня 2010 г. в 15.00 на заседании диссертационного совета Д 003.014.01 в Институте химической кинетики и горения СО РАН по адресу: г. Новосибирск, ул. Институтская, 3.

С диссертацией можно ознакомиться в библиотеке Института химической кинетики и горения СО РАН.

2010 г.

Автореферат разослан 6 мая

Ученый секретарь диссертационного совета доктор химических наук А.А. Онищук

Общая характеристика работы

Актуальность работы. Открытию изотопов химических элементов исполнилось 100 лет. За последующие годы было обнаружено существование радиоактивных и стабильных изотопов для большинства природных элементов, осознана перспектива их использования и созданы методы их разделения. Для стабильных изотопов - это фракционная перегонка, химический обмен, диффузионные методы, центрифугирование, электромагнитные методы и т.д. Сегодня изотопы широко используется в химии, физике, технологии, биологии, сельском хозяйстве, медицине и т.д.[1] Актуальной становится задача поиска дешевых и производительных методов разделения. Одним из таких методов для изотопов средних масс является лазерное разделение изотопов (ЛРИ) и, в частности, инфракрасная многофотонная диссоциация (ИК МФД). Этот метод основан на изотопическом сдвиге спектральных линий в ИК-спектре поглощения. При настройке длины волны лазера на линию поглощения молекул с нужным изотопом происходит селективное возбуждение и последующая диссоциация этой разновидности молекул [2].

Используя метод ИК МФД можно организовать разделение изотопов кремния. Кремний содержит три изотопа, природное содержание которого 28 29 Si-92.2%, Si-4.7%, Si-3.1%. Интерес к использованию составляет:

изотопов кремния в полупроводниковой промышленности в значительной степени вызван работами, в которых обнаружено увеличение теплопроводности изотопно-чистых монокристаллов 28Si.

Еще одна из возможных областей применения изотопов кремния в полупроводниковой промышленности, связана с методикой легирования фосфором путем превращения изотопа 30Si в 31P, согласно реакции:

Si + n 31Si - 31P Кроме того, Si имеет спин ядра. Получение образцов, обогащенных этим изотопом, позволяет использовать метод ЭПР.

Возможности метода ИК МФД для разделения изотопов того или иного элемента определяются, главным образом, выбором химического соединения, молекулы которого способны эффективно возбуждаться и диссоциировать в поле лазерного излучения с высокой селективностью.

Сегодня оптимальным соединением для разделения изотопов кремния методом ИК МФД считается гексафтордисилан (Si2F6).

Однако, очевидным требованием к оптимальному для разделения изотопов соединению является наличие только одного атома кремния в молекуле. В молекуле Si2F6 редкие изотопы кремния 29Si и 30Si содержатся, в основном, в смеси, например, 30SiF3 - 28SiF3, что принципиально препятствует получению высокой степени обогащения.

кремнийорганических соединений, содержащих один атом кремния в молекуле, с целью поиска соединения, характеристики селективной диссоциации которого превышают характеристики Si2F6.

Научная новизна. В работе впервые предложено использовать ряд молекул SiF3-CHkX2-k-CHmX3-m где X – Cl, F, к=0,1,2; m=0,1,2. В частности, исследована селективная по изотопам кремния ИК МФД молекулы SiF3CHCl-CH2Cl из этого ряда. Показано, что эта молекула имеет низкую энергию диссоциации и с большим выходом распадается на стабильные продукты SiF3Cl и C2H3Cl.

Получены рекордно высокие значения селективности по редким изотопам кремния.

демонстрируют перспективность разделения изотопов кремния при помощи лазерного метода на основе ИК МФД ряда кремнийорганических соединений типа SiF3-CHkX2-k-CHmX3-m где X – Cl, F, к=0,1,2; m=0,1,2.

экспериментальной установки, проведении всех экспериментов, синтезе веществ, проводил квантово-химические и другие расчеты.

Апробация работы. Материалы диссертации были представлены на международных и всероссийских конференциях: 8-я Всероссийская (международная) научная конференция: «Физико-химические процессы при селекции атомов и молекул» (ГНЦ РФ ТРИНИТИ, Звенигород, Московской области, 2003 год); 9-я Всероссийская (международная) научная конференция: «Физико-химические процессы при селекции атомов и молекул» (ГНЦ РФ ТРИНИТИ, Звенигород, Московской области, 2004 год);

XVIII симпозиум "Современная химическая физика" (г. Сочи, д/о МГУ "Буревестник" 2006 год); XII Международная научная конференция «Физикохимические процессы при селекции атомов и молекул и в лазерных, плазменных и нано-технологиях» (ГНЦ РФ ТРИНИТИ, Звенигород, Московской области, 2008 год).

Публикации. Основные результаты опубликованы в 7 статьях в рецензируемых научных журналах и 4 тезисах докладов международных и всероссийских конференций.

Объем и структура диссертации. Диссертация состоит из введения, глав и приложения. В конце сформулированы выводы и результаты, приведен список цитируемой литературы (102 ссылки). Работа изложена на 135 страницах, содержит 47 рисунков и 7 таблиц.

Содержание работы Во введении описывается актуальность поставленных в работе задач, поставлена цель и отражена структура диссертации.

Первая глава диссертации посвящена литературному обзору. В первой части главы описаны ранние работы по инфракрасной многофотонной диссоциации кремниевых соединений, где рассматривается процесс разложения этих соединений под действием лазерного излучения, каналы и продукты распада, полученная селективность по изотопам кремния.

В следующей части главы рассматриваются работы по ИК МФД гексафтордисилана. В этих работах описывается, что гексафтордисилан диссоциирует при низких плотностях лазерной энергии и что процесс ИК МФД может проходить с высокой селективностью по изотопам кремния.

Последние работы направлены на улучшение селективности по изотопам кремния, в них рассматривается молекула гексафтордисилана как основное соединение для промышленного разделения изотопов кремния на базе лазерного метода.

Далее в главе описаны работы МФД других кремнийорганических соединений. В этих работах представлены результаты исследований основных характеристик МФД различных кремнийорганических соединений и приводятся результаты селективности по изотопам кремния.

Следующая часть обзора посвящена ИК-спектрам кремнийорганических соединений. Проведено сопоставление экспериментальных ИК-спектров с квантово-химическими расчетами. Из этих работ можно сделать вывод, что для возбуждения излучением CO2-лазера наиболее подходящими для селективной ИК МФД являются соединения кремния, содержащие связи Si– O и Si–F.

Вторая глава посвящена описанию методики эксперимента.

Описывается экспериментальная установка, на которой были получены все результаты по изучению селективной по изотопам кремния ИК МФД.

Представлена принципиальная схема установки Приводится также описание методики синтеза веществ, используемых в работе. В конце главы приводится таблица масс-спектров веществ, которые исследовались в работе.

Третья глава посвящена изучению ИК МФД ряда алкилсиланов, метилтрифторсилана (CH3SiF3), диметилдифторсилана (SiF2(CH3)2), винилтрифторсилана (SiF3C2H3). Изучение направлено на получение основных характеристик МФД, таких как эффективность поглощения, вероятность диссоциации, селективности по изотопам кремния и других.

Все исследуемые вещества, которые представлены в третей главе, имеют интенсивные линии поглощения в области генерации импульсного СО2лазера.

Результаты измерений эффективности поглощения представлены на рис. 1 в виде зависимости количества поглощенных квантов света, отнесенных к количеству молекул, находящихся в сечении луча лазера, от плотности энергии лазерного излучения.

Данные, приведенные на рис 1, показывают, что все три молекулы способны поглощать много энергии, не насыщаясь. Для сравнения, на рисунке приведена аналогичная зависимость для молекулы SiH2F2 [3], характеристики ИК МФД которой были получены в нашей лаборатории ранее. Поглощение этой молекулы очень быстро выходит на насыщение. Это обусловлено эффектом вращательного горла, характерного для сравнительно небольших молекул. Можно сделать вывод, что все три молекулы, описываемые в этой главе, достаточно «многоатомны», чтобы избежать эффекта вращательного горла и, соответственно, насыщения многофотонного поглощения. При умеренных плотностях лазерной энергии молекулы поглощают десятки лазерных квантов. Молекула SiF2(CH3)2 (закрашенные квадраты) поглощает лазерное излучение немного хуже, чем CH3SiF /молекула поглощенных одной молекулой квантов достигает 20.

Результаты для SiF3C2H3, (закрашенный треугольник), показывают, что по этому показателю SiF3C2H3 примерно вдвое уступает метилтрифторсилану и гексафтордисилану. В сравнение с гексафтордисиланом все три молекулы незначительно уступают в эффективности поглощения лазерной энергии, а CH3SiF3 даже сравним с гексафтордисиланом.

многофотонной диссоциации, определяемое как отношение количества продиссоциировавших за один лазерный импульс молекул к полному количеству молекул в сечении лазерного луча. На рис 2 представлены зависимости вероятности диссоциации изучаемых молекул, а также молекул Si2F6 [4]и SiH2F2 [3].

Видно, что все три молекулы CH3SiF3 (закрашенные кружки), SiF2(CH3) (закрашенные квадраты), SiF3C2H3 (закрашенные треугольники) значительно превосходят SiH2F2 по этому параметру, очевидно, по причине эффекта вращательного горла. В то же время, все три молекулы сильно уступают Si2F6: вероятность диссоциации всех трех молекул становится измеряемой при плотностях энергии более 0.5 Дж/см2, и достигает 1 процента при плотностях энергии 0.6 – 0.7 Дж/см2, тогда как вероятность диссоциации Si2F6 на 1-2 порядка выше при тех же значениях плотности излучения лазера.

Очевидно, превосходство Si2F6 по этому параметру связано с гораздо более низкой энергией диссоциации молекулы Si2F6 - 197 кДж/моль [5].

Чтобы установить каналы диссоциации изучаемых молекул и энергии диссоциации по этим каналам, были изучены конечные продукты ИК МФД этих молекул с помощью масс-спектрометра. Также были проделаны квантово-химические расчеты возможных каналов диссоциации изучаемых молекул и сопоставлены с найденными продуктами.

По данным масс-спектрометрического анализа, конечными газообразными продуктами ИК МФД CH3SiF3 являлись SiF4, SiF3H, C2H6, C2H4, CH4, молекулярный водород H2. Продуктами ИК МФД SiF2(CH3) оказались SiF2HC2H5, SiF4, SiF3H, SiF2H2, CH4, C2H6, C2H4. Газообразными продуктами ИК МФД SiF3C2H3 являлись SiF4, SiF3H, H2, C2H4, C2H2, SiF3C2H.

Сопоставление квантово-химических расчетов с данными массспектрометрического анализа конечных продуктов показало, что основными каналами ИК МФД молекулы CH3SiF3 являются разрыв связей Si –C или C–H с энергией диссоциации около 420 Дж/моль.

Для SiF2(CH3)2 основным каналом ИК МФД является канал с отрывом группы CH3, энергия диссоциации - 402 кДж/моль. Также, в гораздо меньшей степени, диссоциация этой молекулы может протекать и по каналу с образованием переходного состояния HSiF2C2H5 с барьером Ea =494 кДж/моль и последующим его распадом на C2H4 и SiF2H2.

Для молекулы SiF3C2H3 основных каналов ИК МФД оказалось несколько: два молекулярных:

SiF3C2H3 SiF3H + C2H2 (Ea=403 кДж/моль) (Доля канала 0.3) SiF3C2H3 SiF3C2H + H2 (Ea=443 кДж/моль) (Доля канала 0.47) и один радикальный:

SiF3C2H3 SiF3+C2H3 (Ea=452 кДж/моль) (Доля канала 0.23) с минимальной энергией активации около 403 кДж/моль.

Таким образом, энергия диссоциации всех трех молекул оказалась примерно в 2 раза выше, чем для гексафтордислана, что видимо, и обуславливает более высокую эффективность ИК МФД последнего.

Далее описываются эксперименты по селективной по изотопам кремния ИК МФД изучаемых молекул. Селективность определялась как отношение скоростей расходования молекул, содержащих различные изотопы кремния.

Для всех исследованных соединений наблюдалась изотопически селективная диссоциация. Максимальная селективность при ИК МФД молекулы SiF3CH составила 10 по изотопу Si и около 4 по изотопу Si; максимальная селективность для SiF2(CH3)2 составила 3.5 по Si и 1.5 по 29Si; для SiF3C2H селективность составила по 29Si примерно 2, по 30Si - 5.

Для сравнения, селективности для Si2F6: для 30 изотопа 45, для 29 – 6 [5], что значительно превосходит селективность изучаемых молекул.

Таким образом, общим свойством для реакций распада изученных соединений является сравнительно высокая величина барьера мономолекулярного распада, > 400 кДж/моль. Расчеты по теории RRKM предсказывают, что при величине барьера в 418.7 кДж/моль для того, чтобы распад происходил за время, не превышающее 10-6-10-5 сек, требуется весьма значительное перевозбуждение молекулы. Это перевозбуждение приводит к тому, что энергетически возможным становится распад по многим каналам, а также к снижению изотопической селективности, так как требует повышения плотности энергии лазерного излучения, что приводит к увеличению вероятности неселективного возбуждения различных изотопов.

Кроме того, основными каналами ИК МФД исследуемых молекул являлись радикальные каналы. Конечные продукты реакций образовались в результате вторичных химических процессов, явившихся главными причинами, которые приводят в конечном итоге к малой эффективности процесса изотопически селективной диссоциации. Таким образом, поиск соединений кремния, перспективных для изотопически селективной диссоциации, должен быть направлен на соединения, распадающиеся по молекулярному каналу с возможно малой величиной барьера распада.

Четвертая глава посвящена изучению перспективных с точки зрения уменьшения энергии диссоциации галоидалкилсиланов. Первым соединением из этой серии был хлорметилтрифторсилан (SiF3CH2Cl).

Предполагалось, что диссоциация молекулы SiF3CH2Cl будет проходить по следующей схеме:

То есть, реакция проходит через 3-х центровое переходное состояние с образованием продуктов: метилена и трифторхлорсилана. Анализ концентрации изотопов кремния у молекулы SiF3CH2Cl проводился с помощью масс-спектрометрического метода.

ИК-спектр SiF3CH2Cl имеет две сильные полосы, соответствующие валентным колебаниям группы SiF3. С помощью квантово-химического расчета фундаментальных частот молекулы SiF3CH2Cl, было сделано отнесение колебательных полос в ИК-спектре.

Для валентных колебаний группы SiF3 молекулы SiF3CH2Cl, рассчитаны изотопные сдвиги для величины типичны для изотопного сдвига частот изотопов кремния в области ИК-спектра, соответствующих Si-F валентным колебаниям.

На рис.3 представлена зависимость среднего количества поглощенных квантов одной молекулой от плотности лазерного излучения импульсного СО2- лазера. Среднее количество поглощенных фотонов молекулой достигает значения 17 при плотности лазерного излучения 0.5 Дж/см2.

диссоциации от плотности лазерного излучения. Так, для молекулы SiF3CH2Cl становится измеримой при плотности энергии 0.2 Дж/см2. В то же время молекулы SiF3CH2Cl диссоциируют менее эффективно, чем Si2F6, поскольку энергия диссоциации молекулы Si2F6 ниже и составляет 197 кДж/моль [5]. Отметим, что ИК МФД молекулы SiF3CH3, которая отличается от SiF3CH2Cl отсутствием атома хлора, становится наблюдаемым при плотности лазерного излучения выше чем 0.4 Дж/см2. Таким образом, присоединение атома хлора к -углероду позволило снизить порог МФД.

С2H2. Другие продукты, такие как SiF4, SiF3CH=CH2, SiF3CH2-CH2Cl и HCl, представлены в малых количествах. Состав продуктов подтверждает, что процесс диссоциации проходит по схеме с переходом атома хлора с атома углерода на атом кремния:

образовавшегося в реакции (4.2.4.2). В частности, CH2 может участвовать в реакциях внедрения. Поэтому наличие в конечных продуктах соединения Поглощение, /молекулу SiF3CH2-CH2Cl объясняется реакцией внедрения 1CH2 в Si-C связь молекулы SiF3CH2Cl H = - 502 кДж/моль. SiF3-CH2-CH2Cl образуется с избыточной энергией H = 82 кДж/моль, поэтому может диссоциировать, что приводит к использованием метода B3LYP в базисе 6-31G(p,d).

Из вышеизложенных размышлений можно сделать качественный вывод, что образующиеся конечные продукты подтверждают первичный канал диссоциации.

При условии, что порядок реакции первый, то концентрация изотопов кремния для реагента SiF3CH2Cl и продукта SiF3Cl может быть получена из следующих выражений:

содержащих первого порядка, t - время облучения. Похожее выражение и для концентраций молекул, содержащих 29Si и 30Si изотопы. Начальная область концентраций продуктов может быть аппроксимирована линейной функцией.

использовано для получения изотопной селективности:

Эффективные константы скоростей могут быть определены либо из падения концентрации реагента, или из роста концентрации продуктов.

Используя линейную аппроксимацию (4.2.5.2), получаем:

где w30 dp 30 dt - скорость образования SiF3Cl, w28 - скорость образования 28SiF3Cl и w29 - скорость образования 29SiF3Cl.

Если взять в расчет, что перед облучением реагента содержание изотопов кремния было равно природному, т.е.: 28 = 92.2% - 28Si и 30 = 3.1% - Si, получается для селективности S30 следующий результат:

S30=28·w30/(30·w28) (4.2.5.5) В экспериментах давление реагента SiF3CH2Cl было 0.1 Торр. Плотность лазерного излучения варьировалась в области 0.27-0.3 Дж/см2. Максимальная селективность в экспериментах была S30=44. Эта величина селективности сравнима с величиной, полученной Kamioka et al в экспериментах с гексафтордисиланом [5].

При изучении ИК МФД 1,2-дихлорэтилтрифторсилана (SiF3C2H3Cl2), ожидалось, что диссоциация этой молекулы будет проходить по 4-х центровой схеме:

В этом случае при ИК МФД SiF3C2H3Cl2 должны образовываться стабильные продукты хлорэтилен и трифторхлорсилан.

Интенсивные полосы поглощения в ИК-спектре SiF3C2H3Cl2, находятся в области 850-1020 см-1. Результаты расчета различных колебаний позволяют сделать отнесение наблюдаемых полос поглощения: полоса 15 = 881 см- согласуется с симметричным валентным колебанием группы SiF3; полоса 990 см-1 соответствует двум асимметричным валентным колебаниям группы SiF3, 17 и 18, которые немного отличаются.

Из рис.5 видно, что эффективное многофотонное возбуждение SiF3C2H3Cl2 достижимо при меньших плотностях лазерного излучения, чем у Поглощение, /молекулу кипения. Это позволяет разделить смесь газов, образовавшихся после облучения лазерным излучением.

Давление, мТорр значения в области давлений исходного вещества SiF3C2H3Cl2 от 0.1 Торр до 5-6 Торр. При повышении давления изотопная селективность резко падает.

Так, S30 уменьшается в 10 раз, когда давление меняется от 6 до 8 Торр Известно, что изотопная селективность уменьшается за счет межмолекулярной передачи колебательной энергии в течение лазерного импульса. Результаты экспериментов с короткими лазерными импульсами приведены на рис.8. При этом не закрашенными звездочками обозначена селективность S30 и не закрашенными треугольниками – S29.

Как видно из рис.8, изотопная селективность не растет, и зависимость от давления существенно не меняется при уменьшении длительности лазерного импульса.

Основные выводы и результаты работы 1. Синтезирован ряд кремнийорганических соединений, молекулы которых эффективно поглощают излучение CO2-лазера и диссоциируют при плотности энергии лазерного излучения < 1 Дж/см2. Получены ИКи масс-спектры этих соединений.

2. Для соединений SiF3CH3, SiF2(CH3)2, SiHF2C2H5, SiF3CHCH2 измерены зависимости вероятности многофотонного поглощения и вероятности диссоциации от плотности энергии лазерного излучения, изучен химический состав продуктов диссоциации, измерены зависимости изотопической селективности от частоты лазерного излучения. Общей чертой ИК МФД этих соединений является большая величина активационного барьера распада молекул и сравнительно малая величина изотопической селективности.

кремнийорганические сопровождается миграцией атома галогена от углерода к кремнию.

Преимущества соединений такого класса заключаются в малой величине барьера диссоциации и в существовании канала распада на две стабильные молекулы. Последующие исследования подтвердили перспективность использования таких соединений.

4. Исследована ИК МФД молекул SiF3CH2Cl, содержащих атом хлора при селективность S=44 для Si и S=6 для Si, что сопоставимо с лучшими Недостатком процесса ИК МФД этого соединения является сложный состав продуктов реакции.

5. Исследована ИК МФД молекул SiF3CHClCH2Cl, содержащих атом хлора и при -углероде относительно кремния. Получены рекордные значения изотопической селективности S=240 для Si и S=35 для Si. Распад молекул этого соединения происходит на две стабильные молекулы:

SiF3Cl и C2H3Cl. Все это позволяет считать эту молекулу перспективной для ЛРИ путем её ИК МФД.

Основное содержание диссертации опубликовано в следующих работах:

1. Чесноков Е.Н., Кошляков П.В., Горелик С.Р. // Контуры полос поглощения в ИК спектре метилтрифторсилана. Расчет и сравнение с экспериментом. // Оптика и спектроскопия, 99, №6, (2005) с. 923- 2. Кошляков П.В., Чесноков Е.Н., Горелик С.Р., Киселев В.Г., Петров А.К. // Инфракрасная многофотонная диссоциация метилтрифторсилана.

// Химическая физика, том 25, №5, (2006) с.12- 3. P.V. Koshliakov, S.R. Gorelik,, E.N. Chesnokov, A.V. Vorobiev, and A.K.

Petrov // Infrared multiphoton dissociation of vinyltrifluorosilane // Applied Physics B, Volume 84, Issue 3, (2006) pp.529- 4. Кошляков П.В., Чесноков Е.Н., Горелик С.Р., Воробьев А.В.,Рахымжан А.А, Петров А.К. // Изотопно-селективная многофотонная диссоциация молекул хлорметилтрифторсилана (CH2ClSiF3) под действием излучения импульсного СО2-лазера // Доклады академии наук, том 415, № 5, (2007) С. 635- 5. Pavel V. Koshlyakov, Aleksei V. Vorob’ev, Sergey R. Gorelik, Evgenii N.

Chesnokov and Alexander K. Petrov // Silicon isotope-selective multiphoton dissociation of 1,2-dichloroethyltrifluorosilane // Mendeleev Commun., 18, (2008), 18– 6. Pavel V. Koshlyakov, Sergey R. Gorelik, Evgeniy N. Chesnokov, Oleg S.

Aseev, Asylkhan A. Rakhymzhan and Alexander K. Petrov // Infrared Multiple Photon Dissociation of Chloromethyltrifluorosilane // Photochemistry and Photobiology, 85, (2009), 901– 7. P.V. Koshlyakov, P.S. Dementyev, S.R. Gorelik, E.N. Chesnokov, A.K.

Petrov // Infrared multiphoton dissociation of 1,2-dichloroethyltrifluorosilane / Applied Physics B: Volume 97, Issue 3 (2009), Page 625-633.

Цитируемая литература 1. А.И. Бродский. «Химия изотопов», Изд. АН СССР, М., 1957.

2. Ю.Н. Молин, В.Н. Панфилов, А.К. Петров. «Инфракрасная фотохимия», Изд. «Наука» СО АН СССР, Новосибирск, 1985.

3. S.R. Gorelik, E.N. Chesnokov, A.V. Kuibida, R.R. Akberdin and A.K. Petrov.

IR MPD SiF2H2 // Applied Physics.B. 2004. V. 78. p. 119-125.

4. V. Tosa, S. Isomura and K. Takeuchi. IR Multiphoton absorption in Si2F6 // J.Photochem. Photobiol. A: Chem. 1995. V. 91. p. 173-177.

5. Masatsugu Kamioka, Yoichi Ishikawa, Hayato Kaetsu, Shohei Isomura and Shigeyoshi Arai. Isotope-Selective Infrared Multiple Photon Decomposition of Hexafluorodisiiane // J. Phys. Chem. 1986. V. 90. p. 5727-5730.





Похожие работы:

«ЕСАКОВА Алена Сергеевна ИССЛЕДОВАНИЕ ДИФФУЗИИ МОЛЕКУЛ ПОЛИЭЛЕКТРОЛИТОВ И ПОЛИЭЛЕКТРОЛИТНЫХ КОМПЛЕКСОВ МЕТОДОМ КОРРЕЛЯЦИОННОЙ СПЕКТРОСКОПИИ РАССЕЯННОГО СВЕТА Специальности 02.00.06 высокомолекулярные соединения и 01.04.07 - физика конденсированного состояния Автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук Москва– 2011 www.sp-department.ru Работа выполнена на кафедре физики полимеров и кристаллов физического факультета Московского...»

«Кондратьев Денис Васильевич ПЕРИОДИЧЕСКОЕ СТРУКТУРООБРАЗОВАНИЕ В НЕМАТИЧЕСКИХ ПЛЕНКАХ Специальность 01.04.02 – Теоретическая физика АВТОРЕФЕРАТ диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук Челябинск 2011 Работа выполнена в ГОУ ВПО Башкирский государственный педагогический университет им. М.Акмуллы. Научный руководитель : доктор физико-математических наук, профессор, Мигранов Наиль Галиханович Официальные оппоненты : доктор физико-математических...»

«Надькин Леонид Юрьевич Исследование оптических свойств полупроводника в экситонной области спектра под действием мощного импульса накачки и слабого зондирующего импульса 01.04.21 – лазерная физика АВТОРЕФЕРАТ диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук Москва – 2013 Работа выполнена...»

«АНИСОВА ТАТЬЯНА ЛЕОНИДОВНА МЕТОДИКА ФОРМИРОВАНИЯ МАТЕМАТИЧЕСКИХ КОМПЕТЕНЦИЙ БАКАЛАВРОВ ТЕХНИЧЕСКОГО ВУЗА НА ОСНОВЕ АДАПТИВНОЙ СИСТЕМЫ ОБУЧЕНИЯ Специальность 13.00.02 – теория и методика обучения и воспитания (математика) АВТОРЕФЕРАТ диссертации на соискание ученой степени кандидата педагогических наук Москва – 2013 Работа выполнена на кафедре математического анализа и методики преподавания математики Государственного бюджетного образовательного учреждения высшего...»

«РАТНИКОВА Александра Константиновна УДК.621.375.4. СОЗДАНИЕ ВЫСОКОЭФФЕКТИВНЫХ ТЕПЛООТВОДОВ НА ОСНОВЕ ПОЛИКРИСТАЛЛИЧЕСКОГО АЛМАЗА ДЛЯ МОЩНЫХ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ ПРИБОРОВ. Специальность 05.27.01 Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро - и наноэлектроника, приборы на квантовых эффектах Автореферат диссертации на соискание учёной степени кандидата технических наук г. Фрязино 2012 г. Диссертация выполнена в Федеральном государственном унитарном...»

«ИВАНОВА Марина Викторовна ВЗАИМОДЕЙСТВИЯ ВИРУСОВ С ДЕТОНАЦИОННЫМИ НАНОАЛМАЗНЫМИ МАТЕРИАЛАМИ И КОМПОЗИТАМИ НА ОСНОВЕ ПОЛИАНИЛИНА 03.02.02 – вирусология АВТОРЕФЕРАТ диссертации на соискание ученой степени кандидата биологических наук Москва–2014 Работа выполнена в Федеральном государственном бюджетном учреждении Научно-исследовательский институт вирусологии имени Д.И. Ивановского Министерства здравоохранения Российской Федерации Научный руководитель : доктор медицинских наук...»

«САДРИЕВ Роберт Мансурович ПРОГНОЗИРОВАНИЕ ДОЛГОВЕЧНОСТИ ДЕТАЛЕЙ МАШИН НА ОСНОВЕ АНАЛИЗА ИЗМЕНЕНИЯ ПЛОЩЕДЕЙ ПЕТЕЛЬ ГИСТЕРЕЗИСА 05.02.02 – Машиноведение, системы приводов и детали машин Автореферат Диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук Казань 2007 2 Работа выполнена на кафедре Основы проектирования машин и автомобилестроение Ульяновского государственного технического университета. Научный руководитель : доктор технических наук, профессор Дьяков Иван...»

«Шамардин Лев Витальевич Принципы построения грида с использованием RESTful-веб-сервисов Специальность 05.13.11 математическое и программное обеспечение вычислительных машин, комплексов и компьютерных сетей. Автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук Москва 2011 Работа выполнена в отделе теоретической физики высоких энергий Научно-исследовательского института Ядерной Физики имени Д.В. Скобельцина Московского Государственного...»

«ПЕРЕЛЫГИНА ОЛЬГА МИХАЙЛОВНА ЭЛЕКТРОЛЮМИНЕСЦЕНЦИЯ КОМПОЗИТОВ НА ОСНОВЕ ПОЛИАНИЛИНА И НАНОРАЗМЕРНЫХ ОРГАНИЧЕСКИХ МОЛЕКУЛЯРНЫХ КРИСТАЛЛОВ 02.00.04 – физическая химия АВТОРЕФЕРАТ диссертации на соискание ученой степени кандидата химических наук МОСКВА – 2009 1 www.sp-department.ru Работа выполнена в Учреждении Российской Академии Наук Институте физической химии и электрохимии им. А.Н. Фрумкина РАН. Научные руководители: доктор химических наук, профессор Евгений Иванович Мальцев...»

«Воронина Юлия Сергеевна РЕГУЛЯРИЗАЦИЯ И ПЕРЕНОРМИРОВКА ДАВЛЕНИЯ КАЗИМИРА Специальность 01.04.02 Теоретическая физика АВТОРЕФЕРАТ диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук Москва – 2013 Работа выполнена на кафедре квантовой теории и физики высоких энергий физического факультета Московского государственного университета имени М.В. Ломоносова. доктор физико-математических наук, Научный руководитель : профессор Силаев Петр Константинович доктор...»

«ЩЕРБЛЮК НИКОЛАЙ ГЕННАДЬЕВИЧ ТОЧНЫЕ РЕШЕНИЯ В ПЯТИМЕРНЫХ И ШЕСТИМЕРНЫХ СУПЕРГРАВИТАЦИЯХ Специальность 01.04.02 Теоретическая физика АВТОРЕФЕРАТ диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук Москва — 2010 Работа выполнена на кафедре теоретической физики физического факультета Московского государственного университета имени М. В. Ломоносова доктор...»

«КОЛМОГОРЦЕВ АЛЕКСЕЙ МИХАЙЛОВИЧ МАТРИЧНЫЙ СИНТЕЗ НАНОДИСПЕРСНОГО ДИОКСИДА ТИТАНА ИЗ ТЕТРАБУТОКСИТИТАНА Специальность 02.00.21 – химия твердого тела АВТОРЕФЕРАТ диссертации на соискание ученой степени кандидата химических наук Челябинск-2010 Работа выполнена в ГОУ ВПО Челябинский государственный педагогический университет и ГОУ ВПО Южно-Уральский государственный университет Научный руководитель : кандидат химических наук Жеребцов Дмитрий Анатольевич Официальные оппоненты :...»

«Коротков Илья Петрович СОЗДАНИЕ ТЕХНОЛОГИИ ФОРМИРОВАНИЯ ИЗОБРАЖЕНИЙ СРЕДЫ ПО ДАННЫМ МНОГОВОЛНОВОЙ СЕЙСМОРАЗВЕДКИ В УСЛОВИЯХ СЛОЖНО ПОСТРОЕННЫХ СРЕД 25.00.10 Геофизика, геофизические методы поисков полезных ископаемых Автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук Москва – 2012 Работа выполнена в Московском государственном университете имени М.В. Ломоносова Научный руководитель : доктор технических наук, Жуков Александр Петрович Официальные...»

«УДК 517.927.4; 517.958 Валовик Дмитрий Викторович Нелинейные одно- и двухпараметрические задачи сопряжения на собственные значения для системы уравнений Максвелла в слое Специальность 01.01.02 – Дифференциальные уравнения, динамические системы и оптимальное управление Автореферат диссертации на соискание ученой степени доктора...»

«РОМАНОВА Наталья Вячеславовна ДИНАМИКА РЕЛЯТИВИСТСКИХ ЭЛЕКТРОНОВ В МАГНИТОСФЕРЕ ЗЕМЛИ: РОЛЬ ВОЛНОВЫХ ПРОЦЕССОВ В УСКОРЕНИИ И ВОЗДЕЙСТВИЕ НА КОСМИЧЕСКИЕ АППАРАТЫ Специальность 25.00.10 – геофизика, геофизические методы поисков полезных ископаемых АВТОРЕФЕРАТ диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук Москва - 2011 Работа выполнена в Учреждении Российской академии наук Институте физики Земли им. О.Ю. Шмидта РАН доктор физико-математических наук...»

«Бабаев Антон Анатольевич СПИНОВЫЕ ЭФФЕКТЫ ПРИ ПЛОСКОСТНОМ КАНАЛИРОВАНИИ РЕЛЯТИВИСТСКИХ ЭЛЕКТРОНОВ, ПОЗИТРОНОВ И ТЯЖЕЛЫХ ВОДОРОДОПОДОБНЫХ ИОНОВ Специальность 01.04.02 – теоретическая физика АВТОРЕФЕРАТ диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук Томск – 2009 Работа выполнена на кафедре теоретической и экспериментальной физики Томского политехнического университета и в НИИ Ядерной Физики Томского политехнического университета Научный...»

«УДК 534.26; 517.958 Валяев Валерий Юрьевич Экспериментальное и теоретическое исследование дифракции акустических волн на конусах специального вида и препятствиях типа полосы Специальность: 01.04.06 – акустика АВТОРЕФЕРАТ диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук МОСКВА – 2012 Работа выполнена на кафедре акустики физического факультета Московского...»

«УДК 621.3:681.3 СМИРНОВ ОЛЕГ ИГОРЕВИЧ СИСТЕМА ПРИНЯТИЯ РЕШЕНИЙ ПО ВЫБОРУ ТЕХНОЛОГИЙ ПОСЛОЙНОГО СИНТЕЗА ИЗДЕЛИЙ Специальность 05.13.06 Автоматизация и управление технологическими процессами и производствами (авиационная и ракетно-космическая техника) АВТОРЕФЕРАТ диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук Москва – Работа выполнена на кафедре математика и Вычислительная программирование ФГБОУ ВПО Московский авиационный институт (национальный...»

«Зенин Алексей Александрович ПЛАЗМЕННЫЙ ИСТОЧНИК ЭЛЕКТРОНОВ ДЛЯ ГЕНЕРАЦИИ НЕПРЕРЫВНЫХ ЭЛЕКТРОННЫХ ПУЧКОВ В ОБЛАСТИ ПРЕДЕЛЬНЫХ РАБОЧИХ ДАВЛЕНИЙ ФОРВАКУУМНОГО ДИАПАЗОНА 01.04.04 – Физическая электроника АВТОРЕФЕРАТ диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук ТОМСК – 2014 Работа выполнена в федеральном государственном бюджетном образовательном учреждении высшего профессионального образования Томский государственный университет систем управления...»

«ХАЗИРИШИ ЭНВЕР ОСМАНОВИЧ КВАДРАТУРНЫЕ ФОРМУЛЫ ДЛЯ СИНГУЛЯРНЫХ ИНТЕГРАЛОВ И ПРЯМЫЕ МЕТОДЫ РЕШЕНИЯ ОСОБЫХ ИНТЕГРАЛЬНЫХ УРАВНЕНИЙ Специальность 01.01.01 – математический анализ Автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук Казань – 2009 Работа выполнена на кафедре математического анализа Адыгейского государственного университета Научный руководитель : доктор физико-математических наук, профессор Габдулхаев Билсур Габдулхаевич...»














 
© 2013 www.diss.seluk.ru - «Бесплатная электронная библиотека - Авторефераты, Диссертации, Монографии, Методички, учебные программы»

Материалы этого сайта размещены для ознакомления, все права принадлежат их авторам.
Если Вы не согласны с тем, что Ваш материал размещён на этом сайте, пожалуйста, напишите нам, мы в течении 1-2 рабочих дней удалим его.