WWW.DISS.SELUK.RU

БЕСПЛАТНАЯ ЭЛЕКТРОННАЯ БИБЛИОТЕКА
(Авторефераты, диссертации, методички, учебные программы, монографии)

 

Молекулярно-пучковая эпитаксия нитридов металлов для светодиодов ультрафиолетового диапазона

На правах рукописи

БОРИСОВ Борис Александрович

Молекулярно-пучковая эпитаксия нитридов

металлов для светодиодов ультрафиолетового

диапазона

Специальность 01.04.04 – физическая электроника

АВТОРЕФЕРАТ

диссертации на соискание учёной степени

кандидата физико-математических наук

Санкт-Петербург - 2008

Работа выполнена на кафедре физической электроники ГОУ ВПО СанктПетербургский государственный политехнический университет.

Научный руководитель: доктор физико-математических наук, профессор, Кораблев Вадим Васильевич,(СПбГПУ)

Официальные оппоненты: доктор физико-математических наук, профессор Сидоров Валерий Георгиевич, (СПбГПУ) кандидат физико-математических наук Филаретов Алексей Гелиевич (ОАО «Светлана», ЗАО «Светлана – Рост»)

Ведущая организация: Физико-технический институт им. А.Ф.Иоффе РАН

Защита состоится 23 октября 2008 года в 18 часов на заседании диссертационного совета Д 212.229.01 при ГОУ ВПО «Санкт-Петербургский государственный политехнический университет» по адресу: 195251, г. СанктПетербург, ул. Политехническая 29, корп.2, ауд.470.

С диссертацией можно ознакомиться в фундаментальной библиотеке ГОУ ВПО «Санкт-Петербургский государственный политехнический университет».

Автореферат разослан 12 сентября 2008г.

Ученый секретарь диссертационного совета, д-р техн. наук, профессор Коротков А.С.

ОБЩАЯ ХАРАКТЕРИСТИКА РАБОТЫ

Актуальность темы. III-нитриды, включающие три двойных соединения семейства AlN, GaN, InN и их сплавы, в настоящее время считаются одними из наиболее перспективных материалов для разработки новых типов оптоэлектронных устройств, работающих в широком диапазоне длин волн от видимой до дальней УФ областей спектра (вплоть до =200 нм), а также мощных СВЧ приборов, способных функционировать в агрессивных средах и при высоких температурах.

Несмотря на достигнутый в последние годы значительный технологический прогресс в разработке и создании эффективных светодиодов и лазерных диодов, излучающих в сине-зеленой и ближней УФ области, эффективность излучения в дальней УФ области спектра (1019 см-3) вплоть до состава x~0.85, выращенные методом МПЭ с газовыми источниками аммиака и силана;

исследовано вхождение магния и легирование слоев AlxGa1-xN:Mg ( x 0.35) р-типа, выращенных методом МПЭ с аммиаком ;

найдены ростовые условия МКЯ, позволившие получить квантовые точки AlGaN в матрице AlGaN, и исследованы их оптические характеристики;

получены светодиоды, излучающие в диапазоне длин волн 250280 нм.

Практическая значимость работы состоит в том, что предложенная технология может быть использована в качестве основы для разработки промышленной технологии получения светодиодов в УФ области. Основные этапы этой технологии могут быть также использованы при изготовлении фотоприемников, работающих в УФ диапазоне спектра. Результаты исследований представляют интерес при разработке технологии получения других полупроводниковых приборов на основе нитридов III группы (например, мощных биполярных и полевых транзисторов).

Научные положения, выносимые на защиту:

Образование нитрида кремния, Si3N4, на поверхности кремниевой подложки до начала роста не только не препятствует, а, наоборот, способствует формированию высокотемпературного буферного слоя AlN с высоким кристаллическим совершенством. Это достигается посредством прецизионного контроля толщины Si3N4 с помощью отражательной дифракции быстрых электронов (ОДБЭ) и попеременной подачей потоков алюминия и аммиака на начальной стадии роста.

Основными факторами, определяющими десорбцию Ga в ростовых условиях, являются кинетические явления, происходящие на растущей поверхности GaN. Энергия активации десорбции Ga совпадает с энергией свободного испарения и составляет величину 3.2±0.1 эВ.

Эффективная ширина запрещенной зоны КПСР AlN/Al0.08Ga0.92N с шириной ямы 0.50 и 0.75 нм может быть изменена заданным образом с шагом 140 мэВ в диапазоне 4.50 5.30 эВ путем изменения периода от 1.25 до 2.25 нм.

Энергия активации донорного уровня кремния в слоях AlxGa1-xN не



Похожие работы:

«Кондратьев Денис Васильевич ПЕРИОДИЧЕСКОЕ СТРУКТУРООБРАЗОВАНИЕ В НЕМАТИЧЕСКИХ ПЛЕНКАХ Специальность 01.04.02 – Теоретическая физика АВТОРЕФЕРАТ диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук Челябинск 2011 Работа выполнена в ГОУ ВПО Башкирский государственный педагогический университет им. М.Акмуллы. Научный руководитель : доктор физико-математических наук, профессор, Мигранов Наиль Галиханович Официальные оппоненты : доктор физико-математических...»

«ЛЕРНЕР ИЛЬЯ МИХАЙЛОВИЧ АНАЛИЗ ПЕРЕХОДНЫХ ПРОЦЕССОВ В УЗКОПОЛОСНЫХ ЛИНЕЙНЫХ СИСТЕМАХ ПРИ СКАЧКАХ ФАЗЫ И АМПЛИТУДЫ ГАРМОНИЧЕСКОГО КОЛЕБАНИЯ Специальность 05.12.04 – Радиотехника, в том числе системы и устройства телевидения Автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук Казань 2012 Диссертационная работа выполнена на кафедре Радиоэлектронных и квантовых устройств Федерального государственного бюджетного образовательного учреждения...»

«Лисеенко Наталья Владимировна СИНТЕЗ И СВОЙСТВА КЕРАМИЧЕСКИХ ПИГМЕНТОВ НА ОСНОВЕ СИСТЕМЫ CaO–RO(R2O3)–SiO2 C ИСПОЛЬЗОВАНИЕМ ПРИРОДНОГО И ТЕХНОГЕННОГО МИНЕРАЛЬНОГО СЫРЬЯ Специальность 05.17.11 – технология силикатных и тугоплавких неметаллических материалов АВТОРЕФЕРАТ диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук Томск 2011 2 Работа выполнена на кафедре технологии силикатов и наноматериалов ФГБОУ ВПО Национального исследовательского Томского...»

«ГАВРИЛОВ Алексей Андреевич ИССЛЕДОВАНИЕ ЛИНЕЙНЫХ И СЕТЧАТЫХ СЛУЧАЙНЫХ ПОЛИМЕРНЫХ СИСТЕМ МЕТОДАМИ КОМПЬЮТЕРНОГО МОДЕЛИРОВАНИЯ Специальности 02.00.06 высокомолекулярные соединения, 01.04.07 – физика конденсированного состояния Автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук Москва – 2013 Работа выполнена на кафедре физики полимеров и кристаллов физического факультета Московского Государственного Университета имени М. В. Ломоносова....»

«Смагин Михаил Александрович ИЗМЕРЕНИЕ ПОЛЕЙ УЛЬТРАЗВУКОВЫХ МЕДИЦИНСКИХ ПРЕОБРАЗОВАТЕЛЕЙ МЕТОДАМИ АКУСТИЧЕСКОЙ ГОЛОГРАФИИ И ОПТИЧЕСКОЙ ВИЗУАЛИЗАЦИИ Специальность 01.04.06 – акустика Автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук Москва – 2007 Работа выполнена на кафедре акустики физического факультета Московского государственного университета им. М.В. Ломоносова (МГУ). Научный руководитель : кандидат физико-математических наук...»

«Васильев Дмитрий Александрович СОВЕРШЕНСТВОВАНИЕ ЖЕЛЕЗНОДОРОЖНОЙ ЦИСТЕРНЫ ДЛЯ ВЯЗКИХ НЕФТЕПРОДУКТОВ И ЕЕ ЭКСПЛУАТАЦИОННЫХ ХАРАКТЕРИСТИК НА ОСНОВЕ УСТРОЙСТВ ТЕРМОСТАБИЛИЗАЦИИ Специальность 05.22.07 Подвижной состав железных дорог, тяга поездов и электрификация АВТОРЕФЕРАТ диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук Самара 2010 2 Работа выполнена в Государственном образовательном учреждении высшего профессионального образования Самарский государственный...»

«Кусова Елена Валерьевна О ГЕОМЕТРИИ СЛАБО КОСИМПЛЕКТИЧЕСКИХ СТРУКТУР 01.01.04 геометрия и топология АВТОРЕФЕРАТ диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук Казань 2013 Работа выполнена на кафедре геометрии ФГБОУВПО Московский педагогический государственный университет Научный руководитель : доктор физико-математических наук, профессор кафедры геометрия Московского Педагогического Государственного Университета Кириченко Вадим Федорович...»

«Антипова Мария Владимировна Три-ткани Бола с тензором кривизны минимального ранга Специальность 01.01.04 — геометрия и топология Автореферат диссертации на соискание учёной степени кандидата физико-математических наук Казань — 2013 Работа выполнена на кафедре геометрии ФГБОУ ВПО Московский педагогический государственный университет Научный руководитель : Шелехов Александр Михайлович, доктор физико-математических наук, профессор, Тверской государственный университет, профессор...»

«Матвеев Иван Алексеевич Методы и алгоритмы автоматической обработки изображений радужной оболочки глаза 05.13.11 – Математическое и программное обеспечение вычислительных машин, комплексов, систем и сетей АВТОРЕФЕРАТ диссертации на соискание ученой степени доктора технических наук Москва – 2014 Работа выполнена в Федеральном государственном бюджетном...»

«Владимирова Ксения Геннадьевна АППРОКСИМАЦИЯ ОБМЕННОГО ФУНКЦИОНАЛА В МЕТОДЕ ФУНКЦИОНАЛА ПЛОТНОСТИ ДЛЯ ОПТИМАЛЬНОГО ОПИСАНИЯ ОСНОВНОГО И ВОЗБУЖДЕННЫХ СОСТОЯНИЙ МНОГОАТОМНЫХ МОЛЕКУЛ 02.00.04 – физическая химия 02.00.17 – математическая и квантовая химия Автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук Москва – 2010 2 Работа выполнена на кафедре физической химии Химического факультета Московского государственного университета имени М.В....»

«Глаголева Анна Александровна ВЛИЯНИЕ ТЕМПЕРАТУРЫ И ПРОСТРАНСТВЕННЫХ ОГРАНИЧЕНИЙ НА САМООРГАНИЗАЦИЮ АМФИФИЛЬНЫХ ГРЕБНЕОБРАЗНЫХ МАКРОМОЛЕКУЛ Специальности 02.00.06 – высокомолекулярные соединения 01.04.07 – физика конденсированного состояния Автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук Москва–2012 Работа выполнена на кафедре физики полимеров и кристаллов физического факультета Московского Государственного Университета имени М. В....»

«Скоробогатов Александр Михайлович ТЕРМОДИНАМИЧЕСКОЕ ПОВЕДЕНИЕ СТЕКЛООБРАЗНЫХ ПОЛИМЕРОВ ПРИ ВЗАИМОДЕЙСТВИИ С ГАЗАМИ В ОБЛАСТИ ВЫСОКИХ ДАВЛЕНИЙ Специальность 02.00.04 – Физическая химия Автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук Тверь - 2007 www.sp-department.ru Работа выполнена на кафедре теплофизики Тверского государственного технического университета Научный руководитель : доктор физико-математических наук, профессор Твардовский...»

«ЧАЛЫХ АННА АНАТОЛЬЕВНА ВЛИЯНИЕ ДЕФОРМАЦИОННО-ПРОЧНОСТНЫХ ХАРАКТЕРСТИК ПОЛИМЕРОВ НА ИХ АДГЕЗИОННЫЕ СВОЙСТВА Специальность физическая химия 02.00.04 АВТОРЕФЕРАТ диссертации на соискание ученой степени кандидата химических наук Москва - 2003 www.sp-department.ru Работа выполнена в Институте физической химии РАН Научный руководитель : кандидат химических наук, старший научный сотруДJПП Официальные оппоненты : доктор химических наук, профессор Куличихин Валерий Григорьевич...»

«Алексеева Ольга Михайловна Интерполяционная модель спектральной яркости объектов для задач имитационного моделирования излучения земной поверхности при наблюдении из космоса Специальность:25.00.34 - Аэрокосмические исследования Земли, фотограмметрия Автореферат на соискание ученой степени кандидата технических наук Москва - 2013 2 Работа выполнена в Московском государственном университете геодезии и картографии на кафедре аэрокосмических съемок Научный руководитель :...»

«ВАСИЛЬЕВ ВИКТОР ГЕОРГИЕВИЧ СПЕЦИФИЧЕСКИЕ ВЗАИМОДЕЙСТВИЯ И ОСОБЕННОСТИ РЕОЛОГИЧЕСКИХ СВОЙСТВ СИЛОКСАНОВ 02.00.06 – Высокомолекулярные соединения АВТОРЕФЕРАТ диссертации на соискание ученой степени доктора химических наук Москва- 2008 www.sp-department.ru Работа выполнена в лаборатории физики полимеров Института элементоорганических соединений имени А.Н.Несмеянова Российской академии наук,...»

«ПЕРЕЛЬШТЕЙН ОЛЕГ ЭЛКУНОВИЧ КОМПЬЮТЕРНОЕ МОДЕЛИРОВАНИЕ ФУНКЦИОНАЛЬНЫХ НАНОСИСТЕМ НА ОСНОВЕ БЛОК-СОПОЛИМЕРОВ Специальность 02.00.06 - высокомолекулярные соединения АВТОРЕФЕРАТ диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук Москва, 2010 Работа выполнена на кафедре физики полимеров и кристаллов физического факультета Московского государственного университета имени М. В. Ломоносова Научный руководитель : Игорь Иванович Потёмкин, доктор...»

«Меняйлова Мария Анатольевна ИЗУЧЕНИЕ ВЛИЯНИЯ ГРАВИТАЦИОННОГО ВОЗДЕЙСТВИЯ НА ФУНКЦИОНИРОВАНИЕ СЕРДЕЧНО-СОСУДИСТОЙ СИСТЕМЫ 05.13.18 – Математическое моделирование, численные методы и комплексы программ Автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук Москва - 2012 Работа выполнена на кафедре вычислительных методов факультета...»

«Гольдштрах Марианна Александровна Газочувствительные свойства тонких пленок металлокомплексов этиопорфирина-II Специальность: 02.00.02 – Аналитическая химия АВТОРЕФЕРАТ диссертации на соискание ученой степени кандидата химических наук Москва–2006 Работа выполнена на кафедре аналитической химии Московской Государственной академии тонкой химической технологии им. М.В. Ломоносова Научный руководитель : доктор химических наук, профессор Ищенко Анатолий Александрович Официальные...»

«Плещинский Илья Николаевич Переопределенные граничные задачи и задачи сопряжения для уравнения Гельмгольца и системы уравнений Максвелла 01.01.02 – дифференциальные уравнения Автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук Казань – 2007 Работа выполнена в государственном образовательном учреждении высшего профессионального образования Казанский государственный университет им. В.И. Ульянова-Ленина доктор физико-математических наук,...»

«Андреев Юрий Анатольевич КОМБИНИРОВАННЫЕ ИЗЛУЧАТЕЛИ МОЩНЫХ СВЕРХШИРОКОПОЛОСНЫХ ИМПУЛЬСОВ Специальность 01.04.03 - радиофизика АВТОРЕФЕРАТ диссертации на соискание учёной степени кандидата физико-математических наук Томск - 2006 Работа выполнена в Институте сильноточной электроники СО РАН Научный руководитель : доктор ф.-м. наук, профессор Кошелев Владимир Ильич Научный консультант : кандидат ф.-м. наук, доцент Буянов Юрий Иннокентьевич Официальные оппоненты : доктор ф.-м. н.,...»






 
© 2013 www.diss.seluk.ru - «Бесплатная электронная библиотека - Авторефераты, Диссертации, Монографии, Методички, учебные программы»

Материалы этого сайта размещены для ознакомления, все права принадлежат их авторам.
Если Вы не согласны с тем, что Ваш материал размещён на этом сайте, пожалуйста, напишите нам, мы в течении 1-2 рабочих дней удалим его.